PVD内镀蒸发镀膜机可以镀玻璃、陶瓷、塑胶等瓶状、罐状、球状的内壁。它是由真空室体、抽气系统、电控系统及蒸发等系统组成。多个被镀工件扣在装夹盘上,关上大门,纳米喷镀技术,快速抽气,在真空状态下,电阻加热蒸发金属膜料,蒸气凝结在工件内表面形成所需要的薄膜。灯罩内镀设备-蒸发镀膜机灯罩-杯具真空PVD内镀机:蒸发镀膜机是专为饰品、器件内镀膜研制。
技术参数:
一、 设备采用立式结构,真空室内腔尺寸F600X600、F600X800、F800X800、F800X1000、F1000X1000、F1000X1200(高)
二、工作室配备蒸发机构,3层至5层平放玻璃杯。
三、 每次可镀口径为F30至F200mm的玻璃杯或玻璃球,例如口径为F50mm玻璃杯每次可镀约60~120只。
四、电控系统配备半自动/手动双控功能,配全自动测量真空仪表,采用全自动蒸发控制。
五、配真空机组:
K系列扩散泵 二台;
2X系列滑阀泵一台;
2X-4系列旋片泵二台。
六、抽真空周期:空载从大气抽至5x10 ˉ2帕小于6分钟。
备注:真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做。
真空蒸发镀膜机加工
真空蒸发镀膜机设备运行过程中,从膜材表面蒸发的粒子以一定的速度在空间沿直线运动,直到与其他粒子碰撞为止。在真空室内,当气相中的粒子浓度和残余气体的压力足够低时,这些粒子从蒸发源到基片之间可以保持直线飞行,否则,就会产生碰撞而改变运动方向。为此,纳米喷镀,增加残余气体的平均自由程,以减少其与蒸发粒子的碰撞几率,把真空室内抽成高真空是必要的。
当真空容器内蒸发粒子的平均自由程大于蒸发源与基片的距离(以下称蒸距)时,就会获得充分的真空条件。设蒸距(蒸发源与基片的距离)为L,并把L看成是蒸发粒子已知的实际行程,λ 为气体分子的平均自由程,设从蒸发源蒸发出来的蒸汽分子数为N0,在相距为L 的蒸发源与基片之间发生碰撞而散射的蒸汽分子数为N1,而且假设蒸发粒子主要与残余气体的原子或分子碰撞而散射,则有
N1/N0= 1- exp(L/λ) (1)
在室温(25℃)和气体压力为p(Pa)的条件下,残余气体分子的平均自由程为
λ = 6.65×10-1/pcm (2)
由上式计算可知,在室温下,p=10-2 Pa 时,λ=66.5 cm,即一个分子在与其它分子发生两次碰撞之间约飞行66.5 cm。
磁控溅射镀膜机
中频磁控镀膜机
屏蔽膜电镀设备
中频溅射镀膜机
磁控真空镀膜机
真空蒸镀:
其原理是在真空条件下,用蒸发器加热膜料,使其气化或升华,蒸发粒子流直接射向基片,并在基片上沉积形成固态薄膜的技术。蒸发同时也分电子束蒸发和电阻蒸发、感应蒸发等。
溅射镀膜:
是真空条件下,在阴极接上高压电,激发辉光放电,带正电的离子撞击阴极靶材,纳米喷镀加工,使其射出膜料粒子,并沉积到基片上形成膜层。
离子镀膜:
离子镀膜通常指在镀膜过程中会产生大量离子的镀膜方法。在膜的形成过程中,纳米喷镀机,基片始终受到高能粒子的轰击,膜层强度和结合力非常强。离子镀膜镀制高精密的膜层时,可以加过滤掉大颗粒的离子,这样能达到高结构,高致密性的膜层。
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