机械传动部分，涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(I)的同时，小的工件承载台也转动( II)，并且工件本身还能同时自转(III)。在机械设计上，一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮，周围是一些小的星行轮与之啮合，如果要实现产品自转的话，一般用拨叉拨动工件自转。
七、加热及测温部分涂层设备一般有不同位置的加热器，用热电偶测控温度。但是，由于热电偶装夹的位置与工件位置不同，温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度，有很多方法，可以在工件上装高温试纸或热偶计。
八、离子蒸发及溅射源，多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，镀膜设备，要给靶座不断通入冷却水。为了保证靶与靶座之间的高导电、导热性，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。磁控溅射镀膜一般采用长方形或圆柱形溅射阴极。
九、水冷系统，一般由冷水塔，多弧离子镀膜设备，冰水机，水泵等组成
真空镀膜机必须由以上九个部件组成，每一个部件在机器里面都启动到了至关重要的作用，缺一不可。
真空镀膜机组成结构
真空镀膜设备运用技术已经成为了人们生活中不可或缺的一部分，影响着人民的生活方式，如日常生活中餐具、家居、建材、电子产品、包装等表面都镀上了一层膜，即改变了产品的性能，也改变为其美观度。
随着社会的进步，PVD真空镀膜设备，真空镀膜机技术也是日新月异，光学镀膜技术、卷绕镀膜技术、装饰镀膜技术、磁控镀膜技术，早已大量的投入到市场运用，来满足市场目前需求。很多行业以外的人心中都有一个疑惑，就是真空镀膜机具体是哪些结构组成的呢?下面汇成真空小编为大家整理了这方面的资料，供大家参考和学习。
一、真空室，涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、弧焊接、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
二、真空获得部分，在真空技术中，磁控溅射镀膜设备，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
三、真空测量部分，真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。如热偶计，电离计，皮拉尼计等等。
四、电源供给部分，靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(RF)，常见的电源厂商有AE，ADL，霍廷格等
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设备参数：型号ZCCA-1820真空室尺寸Ф1800×H2000mm制膜种类金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等电源类型直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源靶类型多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶真空室结构立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统真空系统机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵加热系统常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热充气系统质量流量控制仪（1-4路）极限真空6×10-4pa（空载、净室）（Empty， clean room）抽气时间空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟保压率1h≤0.6pa工件旋转方式上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分控制方式手动＋半自动/触摸屏＋PLC备注真空室尺寸机机组配置可按客户产品及特殊工艺要求订做 
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